1.CKD电动滑块KBA发尘测量器 
颗粒计算器：激光灰尘探测器 
最小可测颗粒直径：0.1μｍ 
吸入量：28.3/min 
2.CKD电动滑块KBA发尘测试回路

 
3.CKD电动滑块KBA发尘测定方法 
①在防静电的室内(丙烯树脂制、不锈钢制)设置CKD气缸。 
②提供与颗粒计数器吸入量（28.3/min）相同流量的洁净空气（0.1μmCKD过滤器）。 
③在不动作状态，确认颗粒计数器的值为“0”。 
④使CKD气缸动作,测量动作中产生的颗粒。 
※使用带密封的测试室,以确保除CKD气缸发尘外,其他的颗粒不进入室内。 
4.CKD电动滑块KBA发尘测定条件 
空气质量 
气缸驱动用：「等级2.2.1」（JISB8392－1） 
净化用：「等级2.2.1」＋0.1μｍ气体过滤器 
・气缸供应压力：0.5MPa 
・气缸动作速度：一般速度（200mm/s） 
・动作条件：无负荷、水平设置（与净化流量平行） 
・对排气处理型的溢流气口配管，排放到测试室外。 
・对真空除尘型的真空除尘气口配管，进行真空除尘（－26KPa）。