SCA2-CB-63B-150-Y/Z高温薄膜淀积工艺研究；实现高精度测量的桥式薄膜温度压力集成接头，薄膜的性能质量是关键。对组成接头的各种功能膜的质量要求主要有以下几点：a. 同种电阻材料的温度系数一致、稳定；b. 同种电阻材料的电阻率一致、稳定；c. 绝缘膜的绝缘性能好，大于1000MΩ/100VDC；d. 保护膜致密，能防电阻受潮与氧化，抗腐蚀性强；e. 引线焊盘的膜层可焊性好。膜层的性能与成膜工艺过程有关。镀膜的方式、镀膜的溅射能量、成膜时间等都将影响所镀膜层的质量。要获得高性能的薄膜，就必须对成膜的工艺进行研究，找出适合的工艺参数。
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