FSM2-NVR200-H06-3BK流量传感器度急剧变化的场所或者湿度高的环境中使用，否则会使本体内部结露而发生故障。
预滤器 空气干燥器精密过滤器流量传感器
.gif) FSM系列注意 设计·选定时关于流量单位 ● 本产品的流量以不受温度、压力影响的质量流量计量。
单位为R/min，这是质量流量换算成在20 0 C ，1个大气压
（101kPa）下的体积流量时的显示。关于耐压
请在规定的耐压范围内使用。选定时请注意。确认吸附等使用的场合
本产品用于确认吸附等时，请根据使用真空压力、吸附喷嘴直径选定流量范围。
请参阅第33页附页“流量理论计算方法”。
● 本产品用于确认吸附等时，请务必在吸入侧的上流安装空
气过滤器（过滤度30μm以下），以防吸入异物。（推荐
使用FSM专用超小型管线直装过滤器，详细请参阅第31页）。
● 本产品用于确认吸附等时，请考虑大气的结露点与本产品
的环境温度，请在配管内不结露的条件下使用。
● 本产品用于确认吸附等时，因吸附喷嘴与本产品之间配管
的容积的大小，响应速度有可能减慢。此时，应采取缩小配管容积等对策。
● 用于吸气等真空用途时，在快插接头附近请不要弯曲。在
快插接头附近增加管道应力时，请把快插式环插入管道后，再插入快插接头使用。安装·装配·调试时
关于配线
电源电压及输出请使用规格电压。
外加规格以上的电压会导致错误动作、传感器的破损及触电和火灾。
另外，额定输出超过负荷时，请不要使用。否则会导致输出的破损和火灾。
警告 安装·装配·调试时关于配线
●配线时请确认线的颜色。错误配线会导致传感器的破坏、
故障及错误动作，请确认使用注意书的配线颜色后再进行配线。
请确认配线的绝缘
请确保不发生与其他回路的接触、接地、端子之间绝缘性
能不好的现象。传感器中过电流的流入有可能会导致破损。
● 本产品使用的电源请使用与交流电源绝缘的额定内的DC稳
定电源。不绝缘的电源有触电的危险。非稳定电源在夏天
的高峰期会超过额定，有可能使本产品破损和精度下降。
●配线请在控制装置和机械装置停止，电源切断的状态下进
行。过激动作会有预料不到的动作发生，非常危险。首先
在控制装置、机械装置停止状态进行通电试验，请进行目
标开关数据设定。操作前和操作中请对人体、工具、装置
带的静电进行放电后，再操作。可动部分请使用如自动装
置用的线材一样有耐伸曲性能的线材进行配线。
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